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　　离子分析质谱仪采用质谱技术分析表面原子层以确定表面元素组成和分子结构。其应用范围十分广泛，不但可作表面及整体之分析，又可直接作影像观察，其灵敏度及解析能力甚高，由较小的氢至原子量很大的元素均可侦测，尤其对于同位素的分析更是有效。
 

　　离子分析质谱仪视其应用之不同而有各种不同的型式，其基本构造可分为下列四大部分：
 

　　(1)照射激发用的一次离子束的离子枪；
 

　　(2)以能量选择由试品产生的二次离子能量过滤器；
 

　　(3)进行质量选择的质谱仪；
 

　　(4)放大、检测经质量选择后的二次离子检测输出信号。
 

　　离子分析质谱仪的技术原理：
 

　　1.利用聚焦的一次离子束在样品表面上进行稳定的轰击，一次离子可能受到样品表面的背散射，也有部分进入样品表面，这部分离子把能量传递给晶格，当入射能量大于晶格对原子的束缚能是，部分原子脱离晶格向表面运动，并且产生原子间的级联碰撞，当这一能量传递到表面，并且大于表面的束缚能时，促使表面原子脱离样品，谓之溅射；
 

　　2.上述一次离子引发的溅射大部分为中性原子或分子，也有少量荷电集团，包括带电离子、分子、原子团，按照荷质比经过质谱分离；
 

　　3.收集经过质谱分子的二次离子，可以得知样品表面和体内的元素组成和分布。